百级净化车间

百级半导体净化车间

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上图为我公司贵州某A级净化车间施工现场图

图中相应净化工程为生产半导体产品，对生产环境中的空气洁净有较高的要求，特别是在晶圆清洗工序和光刻工序，需要在高级别洁净室环境中生产。该厂房共有洁净室5000多平方米，其中ISO 5级（A级）以上洁净室2000余平方米，ISO 6级（B级）、ISO 7级（C级）洁净室3000余平方米。为确保新项目中产品的正常生产并取得较高的良品率，在结合我所原有洁净室的管理经验基础之上，制定了新的洁净室管理办法，并在实际应用中进行了多次修改和完善，取得了比较好的效果。

其中关于百级净化车间内FFU的日常管理如下：

FFU运行的日常管理
FFU是整个洁净室中保证洁净室洁净度的关键部件，FFU的状态是否良好决定着A级洁净室洁净度是否达标的关键因素。为了保证洁净室内的洁净度符合生产的要求，我们着重从以下几方面来监测FFU的运行状态：
(1)定期地、分区域地测试FFU的风速，确认FFU的运行风速是否处于0.35m／s±20％的状态。
(2)定期地、分区域地逐台扫描FFU的**过滤器，确认**过滤器是否正常工作，避免**过滤器的泄漏导致洁净室内的洁净度超标。
(3)定期巡视FFU运行指示灯处于正常的工作状态。
(4)预防性的抽查FFU**过滤器的阻力，在FFU**过滤器达到终阻力之前，分区域，提
前安排**过滤器的更换；
(5)抽查洁净室内各区域的洁净度，如果在某区域监测到粒子超标现象，我们立即启动应急响应，对此区域的所有FFU**过滤器进行逐台扫描，查找泄漏点，并总结引起泄漏的原因，采取相应的纠正预防措施。
总之，洁净室的日常管理是一项非常**的综合工程，所有牵涉洁净室管理的工作都必须要有申请、审核和备案程序；所有进入洁净室的人员应与操作人员相同，依照同样的进出程序，并遵循洁净室的相关管理制度；只有不断提高员工的素质，增强员工的工作责任心自觉地维护洁净室的制度，对洁净室的日常管理可以起到事半功倍的效果。不仅可以大幅度地降低洁净室的运行费用，同时获得了较高的成品合格率。